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特殊氣體分離方法

來源：www.xnil7.cn | 發(fā)布時間：2024年05月22日

特殊氣體的分離方法一般包括蒸餾法、吸附法、催化法和膜分離法。包頭工業(yè)氣體廠家主要方法如下介紹了分離特殊氣體的蒸餾、吸附和膜分離。

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特種氣體是電子工業(yè)，特別是大型集成電路制造不可缺少的材料氣體，其發(fā)展應(yīng)與集成電路工業(yè)的發(fā)展同步或先進。特種氣體純度向高純度方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的必然方向，要求特種氣體分離技術(shù)不斷進步，以滿足純度要求，實現(xiàn)氣體的市場價值。在這三種分離技術(shù)中，蒸餾技術(shù)的操作相對復(fù)雜，蒸餾汁仍處于半經(jīng)驗狀態(tài)，但分離氣體產(chǎn)品的純度能滿足市場上各種氣體的純度要求；吸附分離技術(shù)也需要吸附劑的發(fā)展；膜分離技術(shù)是新的分離模式，發(fā)展迅速，對蒸餾技術(shù)和吸附分離技術(shù)構(gòu)成了不同程度的威脅。簡而言之，這三種方法各有優(yōu)缺點，適應(yīng)不同場合，滿足不同要求，為特種氣體的分離做出自己的貢獻。

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